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ターボ分子ポンプ

ロシアの LLC「インテックGmbH」(ООО「Интех ГмбХ」)エンジニアリング会社は、20年以上ロシア市場におけるロシアの様々な工業企業と協力しながら、莫大なエンジニアリングの経験を積み、市場で高い評価を得て、100以上の大規模なロシア産業プラントにおけるプロジェクトを実施してきました。当社は、ロシア市場を魅力的とし、地域での売り上げを増やし、その活動を拡大し、新しい国際的なレベルに到達したい投資家と新しいビジネスパートナーを常に探しております。

当社はロシアの工業プラントに自社製品を供給するために善意の公式代理店を探しているターボ分子ポンプのメーカーと協力したいと思います。

当社の経営者と担当者は、ロシア市場の業界、顧客のやり方と考え方、金融経済活動の特徴をよく知っております。当社のすべての担当者は豊富な顧客ベースを持っており、成功した販売の豊かな経験とターボ分子ポンプの可能な買い手との確実なコネクションを持っているため、手早く興味を持っている分野を特定し、成長しているロシア市場への早いアクセスを提供できます。当社の担当者は、英語とドイツ語が話せ、国際市場における外国製機器の供給という仕事が得意です。

複雑で技術的な問題を解決する経験を持っているエンジニアリング専門家は、定期的にロシア顧客と会い、パートナーメーカーが行う最近の開発のプレゼンテーションに参加します。常にロシアの工場におけるすべての技術サービスと連絡を取り合い、技術的な問題を特定します。そのため、当社はロシア連邦における特徴と、プラントが装備する産業施設とその最も必要な改造をよく分かっております。

ロシアにおけるターボ分子ポンプの公式代理店になって、当社の広告部門は市場調査を実施し、ロシアの企業の市場における貴社のターボ分子ポンプに対する需要を評価し、産業工場の市場の規模と能力を確定し、当社のIT専門家は貴社の製品についてロシア語で のウェブサイトを開発します。当社に属する専門家は貴社に提案されるターボ分子ポンプが最終顧客の要求条件に適合性するかどうか分析し、新製品に対する市場の全体的な反応を分析し、潜在的な顧客のカテゴリを検討し、そのなかで最大かつ最も魅力的な会社を推選します。

ロシアにおける公式代理店になって、LLC「インテックGmbH」社(ООО「Интех ГмбХ」)は必要に応じて、メーカーの機器の個別なロット、ターボ分子ポンプの様々な種類をロシア基準により許認可申請を行い、危険な産業を含めて関税同盟(ロシア、カザフスタン、ベラルーシ、アルメニア、キルギスタン)のすべての工業企業で貴社の機器の使用を確保するTR TS 010およびTR TS証明を取得します。当社のロシア会社はロシアと関税同盟規格の国の要求条件に応じてターボ分子ポンプの登録証明書の取得も支援できます。

当社のエンジニアリング LLC「インテックGmbH」社(ООО「Интех ГмбХ」)は、様々な産業分野におけるロシアの設計機関と協力しているため、ロシアとCIS諸国の建築基準および規則に従って予備設計とその後の設計作業を実施することが可能となり、将来のプロジェクトで貴社のターボ分子ポンプを敷設する機会を与えてくれます。

当社は、必要な貨物の輸送、その梱包、荷積み、すべての適用な法的規制やロシア市場に出るために必要である要件に準拠し、DAPまたはDDP条件で顧客の倉庫に商品を輸送する専用の物流部門を持っています。

当社は、供給された設備据え付けと試運転、ターボ分子ポンプの保証サービスおよびアフターサービスを行い、顧客の担当者の必要な訓練および教育を行う認定の専門家を持っています。

概要

空気または他の気体で満たされていない空の空間は真空と呼ばれます。真空のための理想的な条件は、宇宙空間のみに存在しながら、実験室または産業では、真空が真空ポンプによって生成されます。真空の品質には、用途に応じてあらゆる要求が課せられ、真空の適用分野は、低、中、高、超高真空に細分されます。高真空を作るための手段の1つはターボ分子ポンプです。






ターボ分子ポンプは、入口と出口の許容圧力から成るパラメータのみで動作する圧縮機として考えられます。稼働のために、入口と出口での圧力が特定のレベルより低くなければならないことを意味します。この条件では、主ポンプが動作を開始できるように、必要なレベルまで圧力を下げる追加のポンプの使用を必要とします。また、入力圧力が十分に低いと主ポンプが効率的に圧送するために出口圧力を維持することも必要です。これは、通常、主ポンプの出口でのブーストポンプによって達成されます。ポンプは入口に流入する気体を圧縮し、出口ではそれが濃縮されます。真空システム内の気体は、粘性状態、分子状態またはその間の中間状態で存在します。システムが大気圧から高真空に変換すると、システム内の気体はこのすべての状態を通過します。

ターボ分子ポンプは長年にわたり知られており、拡散ポンプと共に、高速媒質移動ポンプのクラスに属します。ターボポンプでは、高速表面との相互作用により気体が正しい方向に移動します。ドイツ技術者のゲーデ氏は、1912年に既にこの技術を使って気体を圧送する方法を確立しました。彼はその理論を確認するために単純な分子ポンプを設計しました。

そのポンプの速度特性は、当時のローターの回転速度を制限していた部品およびベアリングの製造技術のせいで、低くかったのです。ゲーデ氏のポンプが広く使用されなかったもう1つの理由は、ポンプの可動部品間の隙間を一定に維持する必要があったことです。

ターボ分子ポンプは1957年にドイツの技術者ベッカー氏によって開発されました。開発以来、ターボ分子ポンプは、理論的にも実用的にも急速に発展しました。1960年から1963年の期間に科学者のクルーガー氏とシャピロ氏は、ポンプ容量の計算とタービンの形状の最適化の基本的な方法を開発しました。

ターボ分子ポンプは、高い信頼性、生産性、清潔性を特徴としますが、コストも高くなります。

ターボ分子ポンプは、運動真空ポンプ群に属します。その設計は、タービンに似ていて、ブレードを備えたディスクを有するタービンに類似した多段ローターは、本体内で回転します。回転子は高強度のアルミニウム合金製であることが多く、回転子の内面及び外面は、移送するために固定子表面と相互作用するらせん状の溝が形成されるように作られます。すなわち、ローターの内面および外面は、細長い移送チャンネルを形成します。溝の寸歩、形状および公差は、多段圧縮が可能になるためにポンプ入口側から出口側まで変化します。高品質のターボ分子ポンプは、約10-9の窒素圧縮比を達成できます。ターボ分子ポンプの移送効率が圧送される気体の分子量が増加するとともに低下します。

回転子、モーターおよびベアリングは、ターボ分子ポンプ内の振動源となることがあります。動的バランス調整は、回転子の不均衡を低レベルに低減できます。したがって、回転軸に沿った不均一な質量分布の結果として生じる力は最小限に抑えられます。

動力源の振動は、ステーターとローターが相互作用する際に発生します。この振動に加えて、サスペンションとベアリングの可動部品も振動を発生します。それにもかかわらず、モーターおよびベアリングによって生成される全振動は、ローターの不均衡によって生じる振動よりも小さいです。ベアリングが故障したり、ポンプシステムに接続したりすると、ベアリングからの振動が増加する可能性があります。後者の場合、システム設計は、質量および剛性レベルを変更することによって、またはポンプとシステムとの間に絶縁体を設置することによって適合されなければなりません。

特別なサスペンション設計は、ターボ分子ポンプの高い耐摩耗性とその機能の純度を保証します。このポンプのサスペンションには、セラミックボールと固体潤滑のベアリングがあります。ボールは窒化ケイ素でできており、多くの利点があります。

このようなベアリングは、鋼製ベアリングの2倍の硬さを持ち、最小圧力および接触面で高い耐久性を持ちます。ベアリング構造の硬度は、ポンプ措置の信頼性と品質に大きな影響を与えます。

ボールの材料の比較的低い重量および(鋼材料よりも40%低い)密度は、負担と遠心力の影響に起因する内部応力を低減します。ボールの材料の低い摩擦係数は、部品の表面安定性のために寿命を延ばします。加えて、窒化シリコンは高い温度安定性を持っています。このベアリングに使用される固体の潤滑剤は、ポンプの確実な機能に貢献し、追加の予防の必要性を排除します。

動作原理

ターボ分子ポンプの簡単な設計は、多数のブレードが取り付けられた回転ディスクからなります。ディスクが回転すると、ブレードは入ってくる気体の分子に作用し、ブレードから気体への機械的エネルギーを伝達し、分子は入口管からステーターにある溝を通って流されます。次いで、気体は、排出口に達するまでそれぞれの段階で圧縮され、そこからブースターポンプによって排出されます。

気体は、吸引管を通ってポンプに入り、次に複数のターボ分子段階で圧縮され、ブースターポンプに送られます。ターボ分子ポンプは、高い気体負荷で約50Paまでの前真空圧力を作り出すことができます。

ターボ分子ポンプは、複数の段階に配置される動翼と静翼で構成されます。

回転子と固定子の羽根からなるポンプによる圧送は、 高速回転羽根から汲み出される気体の分子にパルスを伝達することによって達成されます。表面に衝突する分子はしばらく蓄積し、一方、ブレードの速度が熱分子速度に足されます。

ポンプは、24000〜90000rpmの範囲の回転子速度で作動することができ、モーター発電機複合機を含む様々な動力源によって駆動することがあります。

ポンプの速度および圧縮比は、ローターの形状およびその速度によります。ターボ分子ポンプは、水平または垂直の設計に分類されます。

ポンプを水平に取り付けるときは、ポンプベアリングの近くに凝縮(水蒸気、前真空ラインからの油蒸気)が蓄積するのを避けるため、出口フランジを下に向けることにより、損傷の危険性を防ぎます。

ターボ分子ポンプの一般的な利点

  • オイルフリーの超高真空
  • 不活性気体と腐食性気体を扱うことが可能
  • 大量の気体を汲み出すことが可能
  • 幅広い操作圧力
  • すぐに起動し、急激な圧力の上昇で問題が発生しない
  • 容易のメンテナンス
  • 重い気体の圧送

ターボ分子ポンプの使用における考えられる難点

  • ロータ羽根とステータ羽根のわずかな不均衡は、振動やベアリング摩耗の原因となることがある
  • 大気圧が急激に上昇すると、羽根が損傷し、ポンプが破損することがある
  • 高速回転子の潤滑は難しい作業
  • グリースで潤滑されるベアリングはポンプの「弱い」部分

適用

真空技術は実用化の可能性があったため、急速に発展しました。食品産業や医薬品、熱核融合、粒子加速、電子部品、産業資材、半導体を含む宇宙産業などの最新産業に広く使われています。科学産業の様々な分野では、高真空だけでなく、不純物のないクリーンな真空が必要です。そのため、ターボ分子ポンプは真空技術の3つの分野、すなわち薄膜コーティング噴霧、半導体製造および漏れセンサー製造において重要な役割を果たします。ターボ分子ポンプは、超高真空に関連する高エネルギー物理学および研究に関連する分野でも応用されています。気体、液体およびプラズマの現代の分析方法はすべて、質量分析計に基づいており、それぞれの適切な真空を必要とします。また、電子顕微鏡や他の分析装置の場合、表面で高真空が必要です。高真空適用の90%の場合には、ターボ分子ポンプが完全に適合します。ターボ分子ポンプは、10 -3〜10 -10 mbarの範囲のクリーンな真空を生成することができます。

半導体産業では、ターボ分子ポンプが以下のプロセスに使用されます。

  • 酸洗
  • スプレー
  • イオン注入
  • リソグラフィ等

これらの適用分野では、時に有害な気体を圧送する必要があります。

メンテナンス

通常、ターボ分子ポンプは長年稼働し、メンテナンスがほとんど必要ありません。通常、オイルタンクと循環システムを備えたポンプでは、6ヶ月ごと、またはオイルが茶色になったときにオイルを交換する必要があります。粘性のグリースを使用するターボポンプでは、グリースを6ヶ月ごとに交換する必要があります。ターボ分子ポンプのベアリングの耐用期間は2〜3年です。ベアリングの交換は、高速ローターの微調整が必要であるため、訓練を受けた人が行う必要があります。

LLC「インテックGmbH」社(ООО「Интех ГмбХ」)はロシアにおける貴社のターボ分子ポンプの公式代理店となって、貴社の機器を買う顧客を提案し、技術的および商業的な交渉を行い、供給の契約を結びます。入札の場合、参加するために必要な資料をすべて収集し、機器の輸送のために必要な契約を締結し、税関登録および商品のその後のクリアランスを行い、通貨の支払いができるようにロシアの銀行に通貨管理の契約パスポートを登録します 。必要に応じて、当社は既存または新規に構築される生産プロジェクトにおいて貴社の機器を指定します。 LLC「インテックGmbH」社(ООО「Интех ГмбХ」)は、ロシアにおける高い信頼性と効率的なパートナーおよび代理店になることができると確信しています。

我々は 常に協力にオープンしているので、一緒に前進しましょう!

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